产品简介

硅片扩散超声波清洗机该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择，清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗、酸洗（HF）、纯水清洗。该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择，清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗、酸洗（HF）、纯水清洗。其工艺性能指标及可靠性*达到进口同类设备水平，但价格、售后服务、备品备件的供给

全自动硅片（晶片）超声波清洗机 硅片甩干机 单槽分体式超声波清洗机 四槽半自动超声波清洗机 半自动超声波清洗机 全自动陶瓷盘超声波清洗机 硅片扩散超声波清洗机 MESA/SC晶片清洗设备 晶片腐蚀清洗机 外延片（硅片）腐蚀清洗机 立式旋转冲洗甩干机 湿法腐蚀清洗系统 硅材料清洗 旋转冲洗甩干机