LCS系列立式旋转冲洗甩干机

产品简介
LCS系列立式旋转冲洗甩干机本机是主要应用于太阳能电池和半导体硅片等的冲洗甩干工艺环节，具有容量大、效率高的特点。

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更新时间：2021-06-10

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半导体电子设备

全自动硅片（晶片）超声波清洗机硅片甩干机单槽分体式超声波清洗机四槽半自动超声波清洗机半自动超声波清洗机全自动陶瓷盘超声波清洗机硅片扩散超声波清洗机 MESA/SC晶片清洗设备晶片腐蚀清洗机外延片（硅片）腐蚀清洗机立式旋转冲洗甩干机湿法腐蚀清洗系统硅材料清洗旋转冲洗甩干机

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概述：

本机是主要应用于太阳能电池和半导体硅片等的冲洗甩干工艺环节，具有容量大、效率高的特点。

主要特点：

彩色液晶触摸屏实时监控，可存储多种工艺菜单。

腔体和转架采用316不锈钢，电化学抛光处理。

去离子水电阻率监控功能。

无刷电机驱动

氮气温度控制

转轴氮气密封

具有锁盖防护功能

故障诊断、显示、报警功能

可提用户特殊要求配置

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