硅片甩干机不会产生二次污染,是专门用来清洗硅片的设备
2022-09-09
在半导体工艺中把做好的芯片从大源片上分离开来,需要一步叫划片的工艺。划片工艺是使用金刚砂轮把硅片切开,在切割的过程中能产生大量的硅片和金属等的碎渣,这些碎渣会对芯片造成沾污,这就需要在划片工艺中形成的矿渣进行清除,方法是对硅片进行清洗。传统的清洗方法是用高压水枪喷水清洗,或者用棉绒等蘸水擦洗,然后用氮气吹干。这些方法容易造成对做好的芯片表面的划伤或者二次污染,清洗效果不佳。所以需要有一种专门清洗这种硅片的设备,既能清洗干净,又不会产生二次污染。硅片甩干机具有位于机箱内的甩干机...