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硅片超声波清洗机被广泛应用于半导体制造产业中

 更新时间:2023-07-20 点击量:427
  硅片超声波清洗机是用于清洗硅片的设备,其工作原理基于超声波的物理效应。超声波的传导和气泡的破裂能够有效地去除硅片表面的杂质和污染物,提高硅片的质量和纯净度。同时,具有清洗速度快、清洗效果好、操作简单等优点,被广泛应用于半导体制造和电子产业中。
 
  超声波发生器:产生高频电信号,通常在20kHz至100kHz之间。该电信号会传输到超声波发射器。
 
  超声波发射器:超声波发射器将来自电信号转换成机械振动。它由一个或多个压电陶瓷晶体组成,这些晶体在电场的作用下会发生振动,从而产生超声波。
 
  清洗槽:硅片放置在清洗槽中,清洗槽内填充了清洗剂,通常是溶解于水中的化学物质。清洗槽的底部有装配了超声波发射器的振动器。
 
  超声波传导:当超声波发射器开始振动时,它会通过清洗液传导超声波。超声波的传导过程中,清洗液会形成微小气泡,这些气泡在超声波的作用下会发生膨胀和破裂,产生强烈的冲击波。
 
  清洗作用:超声波的传导和气泡的破裂产生的冲击波使得清洗液形成高能区域,在这个区域内,液体粒子和硅片表面的杂质会受到冲击力的作用而脱离,从而实现清洗作用。同时,由于超声波振动引起的微流动也有助于将污染物从硅片表面清洗掉。
 
  冲洗和烘干:清洗完毕后,通常需要对硅片进行冲洗和烘干。这一步骤的目的是将残留的清洗剂冲洗掉,并通过烘干操作去除水分。
 

硅片超声波清洗机

 

  硅片超声波清洗机常见的维护保养方法:
 
  1.定期清洗清洗槽和超声波发生器:定期清洗清洗槽和超声波发生器,除去污垢和沉积物。可以使用专用的清洗剂或溶液进行清洗,注意遵守清洗剂的使用说明。
 
  2.检查和更换超声波振子:定期检查超声波振子的磨损情况,如有磨损或老化现象应及时更换。超声波振子是超声波清洗机的关键部件,其工作状态直接影响清洗效果。
 
  3.清洗过滤器:通常配备有过滤器,用于过滤清洗液中的杂质和颗粒物。定期清洗过滤器,保持其通畅性能,防止污垢堵塞。
 
  4.检查和调节超声波功率:定期检查超声波功率的调节装置,确保其正常工作。根据需要,调节超声波功率的大小,以适应不同清洗任务的要求。
 
  5.检查密封件和管道连接:定期检查密封件和管道连接,确保其密封性良好,防止泄漏。
 
  6.定期维护液位和温度控制系统:通常配备有液位和温度控制系统,用于控制清洗液的液位和温度。定期检查和维护液位和温度控制系统,确保其正常运行。
 
  7.注意操作细节:在使用时,应注意遵守操作规程和安全操作要求。避免过载运行,避免使用不适合的清洗剂和溶剂,以免对设备造成损坏。

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