旋干机利用旋转离心力的方式进行去离子水冲洗、热氮气烘干，DI水电阻率监控、氮气加温、防静电控制以及系统洁净化处理来达到高洁净度的片子清洗效果。设备由主机、相互独立的工作腔体、片架载体、去离子水、氮气控制系统，以及PLC控制和操作系统组成。
先进的旋干机是集流体、流体控制、精密机械、洁净化处理、新材料、计算机控制、半导体工艺技术为一体的综合系统技术整合。这些技术和单元所采用的关键技术及解决途径主要体现在以下方面：
1、洁净化处理技术
先进的
旋干机属高洁净度要求下的“微特征”控制设备。因此，设备的洁净化处理是系统内各功能单元、部件、材料、加工工艺等众多环节所要考虑的重要问题。
2、大功率无刷电机驱动
大功率无刷电机是设备的核心部件之一，国内厂家共同合作开发、研制600W无刷伺服电机及配套驱动器，转速范围zui大3000rpm，解决设备的旋转驱动技术。
3、冲洗工作腔体采用耐腐蚀不锈钢分体焊接加工而成。重点解决了：腔体成型加工工艺；不锈钢表面防护与焊接技术；惰性处理工艺。
4、转轴氮气密封技术
片子在
旋干机冲洗甩干腔内工作时，要有一个密闭而洁净的环境空间，转轴处的密封即是隔离与腔体之间联接的通道。
5、去离子水控制
根据相关指标、要求，在给定压力、流量的条件下，必须达到要求的冲洗水流效果。同时可对水的电阻率值进行实时监控测量，以判断和给定相关工艺参数和工艺时序。
