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有关旋干机关键技术的解决途径

 发布时间:2017-01-05 点击量:1319
  旋干机利用旋转离心力的方式进行去离子水冲洗、热氮气烘干,DI水电阻率监控、氮气加温、防静电控制以及系统洁净化处理来达到高洁净度的片子清洗效果。设备由主机、相互独立的工作腔体、片架载体、去离子水、氮气控制系统,以及PLC控制和操作系统组成。
  先进的旋干机是集流体、流体控制、精密机械、洁净化处理、新材料、计算机控制、半导体工艺技术为一体的综合系统技术整合。这些技术和单元所采用的关键技术及解决途径主要体现在以下方面:
  1、洁净化处理技术
  先进的旋干机属高洁净度要求下的“微特征”控制设备。因此,设备的洁净化处理是系统内各功能单元、部件、材料、加工工艺等众多环节所要考虑的重要问题。
  2、大功率无刷电机驱动
  大功率无刷电机是设备的核心部件之一,国内厂家共同合作开发、研制600W专用无刷伺服电机及配套驱动器,转速范围zui大3000rpm,解决设备的旋转驱动技术。
  3、冲洗工作腔体采用耐腐蚀不锈钢分体焊接加工而成。重点解决了:腔体成型加工工艺;不锈钢表面防护与焊接技术;惰性处理工艺。
  4、转轴氮气密封技术
  片子在旋干机冲洗甩干腔内工作时,要有一个密闭而洁净的环境空间,转轴处的密封即是隔离与腔体之间联接的通道。
  5、去离子水控制
  根据相关指标、要求,在给定压力、流量的条件下,必须达到要求的冲洗水流效果。同时可对水的电阻率值进行实时监控测量,以判断和给定相关工艺参数和工艺时序。

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