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硅片甩干机的电气系统及逻辑控制电路部分

 发布时间:2016-11-10 点击量:640
   硅片甩干机电气系统设计方案:
  ·采用变频器调速,使速度变换温度;
  ·采用plc控制所有的操作可靠,所有故障都一目了然;
  ·程序设计可靠,能满足上述功能要求,并且有报警提示;
  ·速度调节,温度调节,每道程序的运行时间都可以调整;
  ·高温加热与低温加热器导线采用高温线。
  硅片甩干机在工作过程中执行下面四个动作:
  1.复位待机。机器通电后,机器初始化复位,等待接受运行指令。
  2.喷淋清洗。机器接受到START指令,甩干桶按照设定的速度转动设定的时间,同时喷淋管喷出高纯水清洗硅片表面。
  3.甩干。喷淋结束,甩干机进入甩干阶段,甩干桶按照设定的速度转动设定的时间,同时甩干机加热器加热高纯N2,并喷向硅片,去除硅片表面水分,达到甩干的效果。
  4.甩干时间到,甩干桶停止供电。启动刹车动作。
  5.停止。甩干桶完全停止转动,机器回到复位待机状态。
  6.机器在运行过程中,如果遇到特殊情况,按动STOP按钮,机器马上停止转动,进入复位待机状态。

传真:0537-2279761

邮箱:lcluchao@126.com

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