硅片甩干机的电气系统及逻辑控制电路部分

　　·采用变频器调速，使速度变换温度；

　　·采用plc控制所有的操作可靠，所有故障都一目了然；

　　·程序设计可靠，能满足上述功能要求，并且有报警提示；

　　·速度调节，温度调节，每道程序的运行时间都可以调整；

　　·高温加热与低温加热器导线采用高温线。

　　硅片甩干机在工作过程中执行下面四个动作：

　　1.复位待机。机器通电后，机器初始化复位，等待接受运行指令。

　　2.喷淋清洗。机器接受到START指令，甩干桶按照设定的速度转动设定的时间，同时喷淋管喷出高纯水清洗硅片表面。

　　3.甩干。喷淋结束，甩干机进入甩干阶段，甩干桶按照设定的速度转动设定的时间，同时甩干机加热器加热高纯N2,并喷向硅片，去除硅片表面水分，达到甩干的效果。

　　4.甩干时间到，甩干桶停止供电。启动刹车动作。

　　5.停止。甩干桶*停止转动，机器回到复位待机状态。

　　6.机器在运行过程中，如果遇到特殊情况，按动STOP按钮，机器马上停止转动，进入复位待机状态。