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硅片甩干机的硬件设计及系统控制要求

 发布时间:2016-09-30 点击量:568
   硅片甩干机是目前半导体行业中对硅圆片、掩模板、太阳能电池等其他类似材料要求高洁净度冲洗甩干的主要设备。由于设备对控制系统的可靠性及实时性要求较高,所以在选择主控制器时,考虑到用户的要求及实际应用,我们选择了s7-200系列中的cpu224作为主控制器。
  硅片甩干机采用的主控制器cpu224,继电器输出。工作电压为交流220v,其具有14个输入点和10个输出点,此外还选用了一个8点输出的数字量扩展模块,和一个4点输入/1点输出的模拟量扩展模块。除了基本的输入/输出信号外,由于设备在运行过程中要求实时采集转速信号,在这里我们使用了cpu224的内部高速计数器功能。另外,本设备选用了新型直流无刷电机及相应的驱动模块,对电机转速的控制是通过专用的模拟量输出单元实现的。并且,通过模拟量扩展模块的输入单元和相应的软件处理也可以实现对去离子电阻率的实时监控。
  cpu224内部的用户程序存储器为8k字节,用户数据存储器为5k字节,用户存储器类型为EEP-ROM。33MHz下布尔指令执行速度为0.37us。内部有继电器、定时器、计数器、顺序控制继电器、For、Next整数运算及实数运算等功能模块。附加功能有内置高速计数器、模拟量调节电位器、脉冲输出、通讯中断、定时中断、硬件输入中断、实时时钟及口令保护。
  硅片甩干机在用户软件上充分地体现了以人为本的特点,为了提高可视性采用了彩色液晶显示器,更好的实现人机对话。而且为便于用户操作在工艺菜单设计上采用了较为先进的处理方式,可存储10种用户工艺菜单,每种菜单均可根据用户工艺进行修改设置。并可根据用户需要设置密码加密。

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