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硅片甩干机作业主要操作内容

 更新时间:2024-03-21 点击量:2139
  硅片甩干机也称为晶圆甩干机或SRD(spin rinse dryer),是一种用于半导体制程中清洗后干燥晶圆的设备。其工作原理主要是利用离心力和挥发性有机溶剂来干燥硅片,它是半导体制造过程中不可少的设备,对于保证产品质量和提高生产效率具有重要作用。
 
  1.离心力脱水:硅片在湿化学过程后需要清洗和干燥,SRD通过高速旋转的离心力将硅片上的水分甩出,实现快速脱水。根据晶片运动方式的不同,离心甩干可以分为立式和水平式两种类型,二者虽然在工艺上有所差异,但脱水原理相似。
 
  2.IPA蒸汽干燥:IPA(异丙醇)因其挥发性强和混溶性好的特点,常用于晶圆的干燥过程。IPA可以与水混溶,并在一定的条件下迅速挥发,带走混合液体中的水分,从而干燥晶圆。这种方法对微细结构友好,避免了机械力可能导致的晶圆破坏,并且可以减少颗粒污染。但需要注意的是,IPA易燃,操作时需遵守安全规定并确保良好通风。
 
  3.自动化设备设计:电气系统通常采用变频器调速和PLC控制,以确保操作的稳定性和可靠性。机械部分设计要求能够适应不同尺寸的电池片,并在高速旋转和特大离心力的作用下保持稳定。
硅片甩干机
 
  一、硅片甩干机的开机
 
  1.打开气阀,然后合上总电源开关、及各个主电源开关;
 
  2.打开操作屏左侧的电源启动按钮盖,按一下操作屏左侧上的红色“电源”按钮,打开操作屏电源。
 
  二、硅片甩干机的基本操作
 
  1.点击“手动画面”进入手动调试画面,该画面有“低速关/开、高速关/开”按键。在参数设定画面设定好低速喷水转速和高速喷氮转速后,在手动调试画面调试电机离心转速情况。
 
  2.点击“参数设置”按键弹出“请输入密码:“”。点击“”键,弹出数字键输入密码“123456”后点击数字键上的“ENT”键确认后再点击“进入”按键打开参数设置画面进行“低速喷水时间、高速喷氮时间、低速喷水转速、高速喷氮转速、参数复位、加热关/开、自动关/开”等设置。
 
  3.设置温度,按温控仪上的上下调整按钮进行工艺温度设定。
 
  4.按一下操作面板上的“开门”按钮,甩干机操作屏首页画面上的“锁关”转换成“锁开”,甩干机门打开。
 
  5.两手同时按下操作面板上的“关门”按钮,甩干机操作屏首页画面上的“锁开”转换成“锁关”,甩干机门关闭。
 
  6.按一下操作屏上的“启动按钮,自动运行甩干机。
 
  7.点击“报警记录”进入报警记录界面,查看报警记录。
 
  8.设备运行时出现异常情况,及时按下操作屏右侧的“急停”按钮,松开“急停”按钮按“急停”按钮上的箭头旋转退出急停状态。
 
  三、硅片甩干机的关机
 
  1.按操作屏下的“电源”按钮,关闭操作屏电源。
 
  2.关闭气阀、然后关闭总电源开关及各个主电源开关。

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