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硅片甩干机作业主要操作内容

 发布时间:2016-08-01 点击量:788
   一、硅片甩干机的开机
  1.打开气阀,然后合上总电源开关、及各个主电源开关;
  2.打开操作屏左侧的电源启动按钮盖,按一下操作屏左侧上的红色“电源”按钮,打开操作屏电源。
  二、硅片甩干机的基本操作
  1.点击“手动画面”进入手动调试画面,该画面有“低速关/开、高速关/开”按键。在参数设定画面设定好低速喷水转速和高速喷氮转速后,在手动调试画面调试电机离心转速情况。
  2.点击“参数设置”按键弹出“请输入密码:“”。点击“”键,弹出数字键输入密码“123456”后点击数字键上的“ENT”键确认后再点击“进入”按键打开参数设置画面进行“低速喷水时间、高速喷氮时间、低速喷水转速、高速喷氮转速、参数复位、加热关/开、自动关/开”等设置。
  3.设置温度,按温控仪上的上下调整按钮进行工艺温度设定。
  4.按一下操作面板上的“开门”按钮,甩干机操作屏首页画面上的“锁关”转换成“锁开”,甩干机门打开。
  5.两手同时按下操作面板上的“关门”按钮,甩干机操作屏首页画面上的“锁开”转换成“锁关”,甩干机门关闭。
  6.按一下操作屏上的“启动按钮,自动运行甩干机。
  7.点击“报警记录”进入报警记录界面,查看报警记录。
  8.设备运行时出现异常情况,及时按下操作屏右侧的“急停”按钮,松开“急停”按钮按“急停”按钮上的箭头旋转退出急停状态。
  三、硅片甩干机的关机
  1.按操作屏下的“电源”按钮,关闭操作屏电源。
  2.关闭气阀、然后关闭总电源开关及各个主电源开关。

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