硅片甩干机作业主要操作内容

　　硅片甩干机也称为晶圆甩干机或SRD(spin rinse dryer)，是一种用于半导体制程中清洗后干燥晶圆的设备。其工作原理主要是利用离心力和挥发性有机溶剂来干燥硅片，它是半导体制造过程中不可少的设备，对于保证产品质量和提高生产效率具有重要作用。
 

　　1.离心力脱水：硅片在湿化学过程后需要清洗和干燥，SRD通过高速旋转的离心力将硅片上的水分甩出，实现快速脱水。根据晶片运动方式的不同，离心甩干可以分为立式和水平式两种类型，二者虽然在工艺上有所差异，但脱水原理相似。
 

　　2.IPA蒸汽干燥：IPA(异丙醇)因其挥发性强和混溶性好的特点，常用于晶圆的干燥过程。IPA可以与水混溶，并在一定的条件下迅速挥发，带走混合液体中的水分，从而干燥晶圆。这种方法对微细结构友好，避免了机械力可能导致的晶圆破坏，并且可以减少颗粒污染。但需要注意的是，IPA易燃，操作时需遵守安全规定并确保良好通风。
 

　　3.自动化设备设计：电气系统通常采用变频器调速和PLC控制，以确保操作的稳定性和可靠性。机械部分设计要求能够适应不同尺寸的电池片，并在高速旋转和特大离心力的作用下保持稳定。

 

　　一、硅片甩干机的开机
 

　　1.打开气阀，然后合上总电源开关、及各个主电源开关；
 

　　2.打开操作屏左侧的电源启动按钮盖，按一下操作屏左侧上的红色“电源”按钮，打开操作屏电源。
 

　　二、硅片甩干机的基本操作
 

　　1.点击“手动画面”进入手动调试画面，该画面有“低速关/开、高速关/开”按键。在参数设定画面设定好低速喷水转速和高速喷氮转速后，在手动调试画面调试电机离心转速情况。
 

　　2.点击“参数设置”按键弹出“请输入密码：“”。点击“”键，弹出数字键输入密码“123456”后点击数字键上的“ENT”键确认后再点击“进入”按键打开参数设置画面进行“低速喷水时间、高速喷氮时间、低速喷水转速、高速喷氮转速、参数复位、加热关/开、自动关/开”等设置。
 

　　3.设置温度，按温控仪上的上下调整按钮进行工艺温度设定。
 

　　4.按一下操作面板上的“开门”按钮，甩干机操作屏首页画面上的“锁关”转换成“锁开”，甩干机门打开。
 

　　5.两手同时按下操作面板上的“关门”按钮，甩干机操作屏首页画面上的“锁开”转换成“锁关”，甩干机门关闭。
 

　　6.按一下操作屏上的“启动按钮，自动运行甩干机。
 

　　7.点击“报警记录”进入报警记录界面，查看报警记录。
 

　　8.设备运行时出现异常情况，及时按下操作屏右侧的“急停”按钮，松开“急停”按钮按“急停”按钮上的箭头旋转退出急停状态。
 

　　三、硅片甩干机的关机
 

　　1.按操作屏下的“电源”按钮，关闭操作屏电源。
 

　　2.关闭气阀、然后关闭总电源开关及各个主电源开关。