硅片超声波清洗机的清洗原理

硅片超声波清洗机的清洗原理主要依赖于超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用。具体来说，清洗机将电能转化为机械能，使清洗槽中的液体产生高频振动，形成声波。当声波作用于硅片表面时，会在其表面形成微小的气泡并迅速破裂，从而产生强大的冲击力，将硅片表面的污垢和杂质剥离并分散在清洗液中。